网络讲座:导电原子力显微镜(C-AFM)在二维材料及纳米电子器件中的应用
导电原子力显微镜(C-AFM)是一种非常有用的扫描探针显微镜(SPA)纳米表征技术,它不仅可以对样品的形貌进行表征,更重要的是可以探测许多介质材料和电子器件的局部电学性质。C-AFM技术已经成功表征了介质薄膜的许多重要的纳米级现象,比如:局部缺陷、电荷捕获和释放、应力诱导漏电流、负偏置温度不稳定性等。