Lyncée Reflection Series
시간 분해 기반 정밀 형상 측정 솔루션
Lyncée Reflection 시리즈는 디지털 홀로그래픽 현미경법(Digital Holographic Microscopy, DHM)을 기반으로 한 광학 간섭계입니다. 측정은 기계적 스캐닝 없이 단일 획득으로 실시간 수행됩니다.
DHM은 기계적 스캔 없이 단일 획득으로 측정을 빠르게 수행할 수 있어, 샘플의 3D 형상 측정은 물론 외부 자극에 대한 시간 응답 모니터링, 제조 공정 중 특성 평가 및 공정 최적화, 대면적 표면 평가·미세 결함 스크리닝, 그리고 다양한 환경(고온·저온·액체·진공·가스 제어)에서의 원위치 측정에 폭넓게 적용됩니다.
DHM은 반도체, MEMS, 의료기술, 시계 산업, 산업 계측, 폴리머, 마이크로·나노 기술, 마이크로 옵틱스, 포토닉스 응용 분야의 연구소와 생산 시설에서 사용됩니다.
DHM은 기계적 스캔 없이 단일 획득으로 측정을 빠르게 수행할 수 있어, 샘플의 3D 형상 측정은 물론 외부 자극에 대한 시간 응답 모니터링, 제조 공정 중 특성 평가 및 공정 최적화, 대면적 표면 평가·미세 결함 스크리닝, 그리고 다양한 환경(고온·저온·액체·진공·가스 제어)에서의 원위치 측정에 폭넓게 적용됩니다.
DHM은 반도체, MEMS, 의료기술, 시계 산업, 산업 계측, 폴리머, 마이크로·나노 기술, 마이크로 옵틱스, 포토닉스 응용 분야의 연구소와 생산 시설에서 사용됩니다.
핵심 기능
DHM 성능
- 간섭계 수준의 분해능
- 고속 획득 및 실시간 데이터 표시
- 디지털 재초점: 고속 측정 및 까다로운 환경에서 고해상도 이미징 지원
다양한 실험 요구 대응
- 다중 파장: 확장된 수직 측정 범위
- 스테이지: 최대 300 mm 이동 범위 및 6축 제어
- 특정 응용에 맞춘 다양한 옵션
- 업그레이드 가능한 구성
고속·시간분해 측정을 위한 워크플로우
3D 데이터 획득은 단일 이미지 캡처로 수행되며 카메라 주파수로 반복됩니다. 시야 내 모든 픽셀이 동시에 획득되며, 횡방향·수직방향·위상 기계 스캐닝 없이 동적 샘플의 전체 시야 고속 획득이 가능합니다.
실질적으로 시간 분해능을 정의하는 획득 시간은 카메라 셔터 개방 시간과 같으며, 펄스 광원을 사용하는 경우에는 레이저 펄스 지속 시간과 같습니다. 표준 시스템에서는 일반적으로 수백 마이크로초, 고속 카메라 사용 시 수십 마이크로초이며, MEMS 분석에서는 5 나노초까지 짧아질 수 있습니다.
이러한 고속 획득 능력은 샘플 변형의 동적 측정과 대면적 샘플 특성 평가에 적합합니다. 또한 뛰어난 반복성과 환경 외란에 대한 높은 안정성을 제공하여 산업 응용에 특히 유용합니다.
실질적으로 시간 분해능을 정의하는 획득 시간은 카메라 셔터 개방 시간과 같으며, 펄스 광원을 사용하는 경우에는 레이저 펄스 지속 시간과 같습니다. 표준 시스템에서는 일반적으로 수백 마이크로초, 고속 카메라 사용 시 수십 마이크로초이며, MEMS 분석에서는 5 나노초까지 짧아질 수 있습니다.
이러한 고속 획득 능력은 샘플 변형의 동적 측정과 대면적 샘플 특성 평가에 적합합니다. 또한 뛰어난 반복성과 환경 외란에 대한 높은 안정성을 제공하여 산업 응용에 특히 유용합니다.
유연한 업그레이드 및 옵션
Lyncée Reflection은 모듈성을 고려해 설계되었습니다. DHM 헤드에 파장을 추가하거나, 대물렌즈, 전동 스테이지, 환경 챔버, 샘플 제어 옵션 등을 응용과 예산에 맞게 언제든 업그레이드할 수 있습니다.
대물렌즈 세트
대물렌즈 터렛은 1.25×부터 100×까지 최대 6개의 대물렌즈를 지원하여 넓은 시야 개요 관찰과 고배율 검사를 쉽게 전환할 수 있습니다. 대물렌즈 옵션에는 초장거리 작동 거리, 초고 NA, 유리 보정, 오일 및 수침 모델이 포함됩니다.
전동 샘플 스테이지
전동 스테이지는 측정 기능을 향상시키기 위해 사용할 수 있습니다. 조이스틱으로 수동 제어할 수 있으며 Koala 소프트웨어로 완전 자동화할 수 있습니다. 다중 위치 측정을 위한 자동 이동 또는 여러 이미지를 자동 획득·스티칭하여 측정 시야를 확대할 수 있습니다.
X/Y 이동 범위 100 mm~300 mm, Z 방향(광축, 초점) 38 mm 이동 범위를 가진 선형 스테이지 등 다양한 스테이지가 제공됩니다.
X/Y 이동 범위 100 mm~300 mm, Z 방향(광축, 초점) 38 mm 이동 범위를 가진 선형 스테이지 등 다양한 스테이지가 제공됩니다.
6축 제어
최대 6축 제어 솔루션은 구형 및 원통형 샘플뿐 아니라, 큰 각도로 빛을 편향하는 마이크로미러와 같은 구조의 정밀 측정을 가능하게 합니다.
회전 스테이지
원통, 샤프트, 금속 롤, 유리 튜브와 같은 원통형 부품 전체 표면을 측정하기 위해 Lyncée Reflection은 전동 회전 스테이지를 제공합니다. 이 스테이지는 전동 또는 수동 XYZ 선형 스테이지와 호환됩니다. 두 구동 롤러 사이의 간격은 다양한 직경의 샘플에 맞게 조정할 수 있습니다. 전용 인터페이스를 통해 샘플 대칭축 방향 이동과 회전을 제어할 수 있습니다.
스트로보스코픽 유닛
MEMS 분석에 특화된 스트로보스코픽 유닛은 Koala MEMS Analyzer Suite와 함께 MEMS 여기 구동 신호와 홀로그램 획득을 동기화합니다. 최대 25 MHz 주파수와 200 MHz 대역폭에서 MEMS 여기 주기에 따른 정밀 형상 측정을 가능하게 합니다.
진공 및 열 챔버
Lyncée Reflection 시리즈의 독자적인 구성은 광학 창을 통한 측정을 가능하게 합니다. 창의 광학 두께는 자동으로 고려되므로, 기준 빔에 완전히 보정된 유리 보상 슬라이드를 수동으로 추가할 필요가 없습니다.
다양한 가스, 열, 압력 조건에서 샘플을 측정할 수 있도록 Lyncée Reflection 시리즈에 최적화된 두 가지 옵션 진공/열 챔버 모듈이 제공됩니다. 챔버에는 원하는 가스로 챔버를 퍼지할 수 있는 포트가 장착되어 있습니다.
다양한 가스, 열, 압력 조건에서 샘플을 측정할 수 있도록 Lyncée Reflection 시리즈에 최적화된 두 가지 옵션 진공/열 챔버 모듈이 제공됩니다. 챔버에는 원하는 가스로 챔버를 퍼지할 수 있는 포트가 장착되어 있습니다.
디지털 홀로그래픽 현미경법(DHM)의 원리
DHM 기술
DHM은 기본 홀로그래피의 디지털 확장 기술입니다. 감광판 대신 디지털 카메라로 홀로그램을 기록하는 특허 기술입니다. 수치 처리가 기존의 재조명 과정을 대체하여, 이미징된 샘플에 의해 발생한 위상 및 강도 변화를 실시간으로 복원합니다. 이후 이 정보를 해석하여 샘플 형상을 얻습니다.
소프트웨어
