엘립소미터

Imaging Spectroscopic Ellipsometry

파크시스템스 이미징 분광 엘립소미터는 타원편광분석법과 광학 현미경을 결합하여 미세 구조 박막을 정확하게 분석합니다. 엘립소미터의 정확도에 더해 2D 공간을 1 µm 수준의 해상도로 맵핑할 수 있는 성능을 제공합니다.