파크시스템스 레퍼런스 분광 엘립소미터는 기준 데이터와 비교하여 시료로부터 반사되는 타원편광 데이터의 변화 정도로부터 박막의 두께를 빠르게 측정할 수 있습니다. 2D 공간 맵핑이나 광학 상수의 측정이 필요하지 않을 경우에 사용 시, 0.05초의 빠른 시간에 두께를 측정할 수 있습니다.
Fast Wafer Inspection.
