Imaging Spectroscopic Ellipsometry
파크시스템스 이미징 분광 엘립소미터는 타원편광분석법과 광학 현미경을 결합하여 미세 구조 박막을 정확하게 분석합니다. 엘립소미터의 정확도에 더해 2D 공간을 1 µm 수준의 해상도로 맵핑할 수 있는 성능을 제공합니다.
Referenced Spectroscopic Ellipsometry
파크시스템스 레퍼런스 분광 엘립소미터는 기준 데이터와 비교하여 시료로부터 반사되는 타원편광 데이터의 변화 정도로부터 박막의 두께를 빠르게 측정할 수 있습니다. 2D 공간 맵핑이나 광학 상수의 측정이 필요하지 않을 경우에 사용 시, 0.05초의 빠른 시간에 두께를 측정할 수 있습니다.
Accessories
파크시스템스 엘립소미터 시스템은 다양한 액세서리와 확장 옵션을 통해, 측정 목적에 맞는 유연한 구성과 최적의 분석 환경을 제공합니다.