Park FX300 IR
300 mm 샘플 나노화학 분석을 위한 최첨단 AFM 플랫폼
Park Systems FX300 IR large-sample atomic force microscope front view accommodating 200 mm wafer
Park FX300 IR은 나노스케일 적외선 분광 및 이미징을 위한 최첨단 AFM 솔루션입니다. 최대 300 mm 샘플을 지원하는 검증된 FX300 플랫폼을 기반으로 설계되어, 낮은 노이즈 플로어, 최소화된 열 드리프트, 향상된 기계적 안정성을 바탕으로 뛰어난 정밀도와 신뢰성을 제공합니다. 또한 화학적 특성 분석과 표면 특성 분석을 동시에 지원하여 나노스케일에서 보다 정밀한 물질 특성 분석이 가능합니다.

FX300 IR은 광유도력 현미경(PiFM) 기반의 나노 IR 분광기로, 나노스케일 IR 분광 분석과 화학 이미징을 지원합니다. 모든 Park AFM 제품과 마찬가지로 FX300 IR은 직교 스캔 시스템과 True Non-contact™ 모드를 탑재하고 있어, 손상되기 쉬운 샘플에서도 시료 손상 없이 안정적이고 일관된 측정이 가능합니다. 또한 자동 프로브 교체, IR 빔 자동 정렬, 다중 위치 측정 기능 등을 통해 복잡한 측정 작업도 보다 쉽고 효율적으로 수행할 수 있습니다.

FX300 IR은 고성능 AFM과 첨단 IR 기능을 단일 플랫폼에 통합하여, 정밀성과 효율성을 갖춘 나노스케일 화학 분석 환경을 제공합니다.
핵심 기능
FX300 IR AFM-IR spectroscopy head adjacent to sample for nanoscale chemical imaging
FX300 IR AFM-IR spectroscopy head adjacent to sample for nanoscale chemical imaging
FX300 IR은 IR 레이저, 포물면 미러 액추에이터, 멀티플렉서 박스, 사이드 스티어링 미러와 같은 전용 구성 요소를 통합하여, 안정적이고 일관된 나노스케일 IR 측정 환경을 제공합니다.
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