Park FX200 IR
200 mm 샘플 나노화학 분석을 위한 최첨단 AFM
Park FX200 IR은 나노스케일 적외선 분광 및 이미징을 위한 최첨단 AFM 솔루션입니다. 최대 200 mm 샘플을 지원하는 검증된 FX200 플랫폼을 기반으로 설계되어, 낮은 노이즈 플로어, 최소화된 열 드리프트, 향상된 기계적 안정성을 바탕으로 뛰어난 정밀도와 신뢰성을 제공합니다. 또한 화학적 특성 분석과 표면 특성 분석을 동시에 지원하여 나노스케일에서 보다 정밀한 물질 특성 분석이 가능합니다.
FX200 IR은 광유도력 현미경(PiFM) 기반의 나노 IR 분광기로, 나노스케일 IR 분광 분석과 화학 이미징을 지원합니다. 모든 Park AFM 제품과 마찬가지로 FX200 IR은 직교 스캔 시스템과 True Non-contact™ 모드를 탑재하고 있어, 손상되기 쉬운 샘플에서도 시료 손상 없이 안정적이고 일관된 측정이 가능합니다. 또한 자동 프로브 교체, IR 빔 자동 정렬, 200 mm 전체 샘플을 확인할 수 있는 샘플 뷰 카메라, 다중 위치 측정 기능을 통해 복잡한 측정 작업도 보다 쉽고 효율적으로 수행할 수 있습니다.
FX200 IR은 고성능 AFM과 첨단 IR 기능을 단일 플랫폼에 통합하여, 정밀성과 효율성을 갖춘 나노스케일 화학 분석 환경을 제공합니다.
FX200 IR은 광유도력 현미경(PiFM) 기반의 나노 IR 분광기로, 나노스케일 IR 분광 분석과 화학 이미징을 지원합니다. 모든 Park AFM 제품과 마찬가지로 FX200 IR은 직교 스캔 시스템과 True Non-contact™ 모드를 탑재하고 있어, 손상되기 쉬운 샘플에서도 시료 손상 없이 안정적이고 일관된 측정이 가능합니다. 또한 자동 프로브 교체, IR 빔 자동 정렬, 200 mm 전체 샘플을 확인할 수 있는 샘플 뷰 카메라, 다중 위치 측정 기능을 통해 복잡한 측정 작업도 보다 쉽고 효율적으로 수행할 수 있습니다.
FX200 IR은 고성능 AFM과 첨단 IR 기능을 단일 플랫폼에 통합하여, 정밀성과 효율성을 갖춘 나노스케일 화학 분석 환경을 제공합니다.
핵심 기능
FX200 IR은 IR 레이저, 포물면 미러 액추에이터, 멀티플렉서 박스, 사이드 스티어링 미러와 같은 전용 구성 요소를 통합하여, 안정적이고 일관된 나노스케일 IR 측정 환경을 제공합니다.
안정적인 나노 IR 분석
Park AFM 기술
광유도력 현미경
광유도력 현미경(PiFM)은 조절식 IR 레이저로 유도된 분자 진동에서 발생하는 광유도력을 감지합니다. Park FX200 IR의 AFM 캔틸레버는 Non-contact™ 모드로 샘플에 접촉하지 않고 국소 IR 흡수를 측정하여, 5 nm 이하의 공간 분해능과 단층 민감도로 스펙트럼 및 화학적 맵핑을 구현합니다.
애플리케이션
고객 사례
부산대학교 연구 사례로 살펴보는 나노 IR 기술
Park FX200 IR은 반도체 결함 분석부터 고분자 특성 분석까지 다양한 연구 분야에서 활용되며, 기존 AFM 이미징을 넘어 나노스케일의 화학적 특성까지 정밀하게 분석할 수 있습니다.
이러한 분석 성능은 부산대학교가 수행하고 국제 학술지 Advanced Energy Materials 등에 발표한 연구를 통해 입증되었습니다.
이러한 분석 성능은 부산대학교가 수행하고 국제 학술지 Advanced Energy Materials 등에 발표한 연구를 통해 입증되었습니다.
* DOI: 10.1002/aenm.202506521
