Park FX Large Sample AFMs

Park FX大型サンプルAFMシリーズは、高精度で多目的な表面特性評価のために設計されており、研究および産業用途の両分野に最適です。小型サイズから300mmウェハーまでのサンプルをサポートし、半導体製造、材料研究、品質保証、ナノスケールでの化学分析を含む他の様々なナノスケール・アプリケーションに最適なソリューションです。

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高精度で多彩なパフォーマンス

  • 高度な機械構造により、熱ドリフトを最小限に抑え、優れた安定性を実現
  • 小型サイズから300mmウェハーまで、幅広いサンプルサイズに対応
  • 精密化学分析のための高度なナノIR分光法（PiFM）をサポート
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自動化された機能でワークフローを簡素化

  • 16個のプローブスロットを備えた自動プローブ交換機能により、1回のセットアップで複数の測定を効率化
  • 自動化された探針の取り付けとレーザービームアライメントによりセットアップの煩雑な操作が不要
  • 複数座標での自動連続測定を可能にするStepScan™機能搭載
  • マクロ光学系により200 mm ウェハーサンプル全体をカバーする広視野(FOV)の実現
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産業用AFMアプリケーションに特化した機能

  • 長距離プロファイリング、レシピベースのルーティン測定、および回転ステージを備えた産業用に特化したR&Dアプリケーション
  • オプションの高精度なオフアクシス光学系により、サンプルの可視化を向上
  • 緊急停止ボタンと装置の状況を示すシグナルタワー、ファシリティコントローラ、およびオプションのファンフィルターユニットを使用した表面汚染防止のダウンフロー機能を備えた産業グレードの装置
FX40 with monitor

Park ナノ赤外(IR)分光法

化学分析のための最新ナノ赤外分光法を備えた大型装置

ParkナノIRは、赤外（IR）分光と原子間力顕微鏡（AFM）を一体化したシステムです。分光箇所は5nmの空間分解能で化学的な同定を行います。サンプルを傷つけないノンコンタクト技術を使用した分光スキャンと業界最高の空間分解能を提供します。AFMでの形状測定は、サブオングストロームの高さ精度でナノメートルオーダーの3D形状と機械特性を同時に取得できます。

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最適な大型サンプルAFMの選び方

FX200

FX200

小型から200mmまでのサンプルに対応する最先端のAFM

FX300

FX300

研究、品質管理、品質保証のための300mmサンプルに対応する最高性能のAFM

Sample Size
up to 200 mm
up to 300 mm
XY-Scan Range
100 µm x 100 µm
100 µm x 100 µm
Z-Scan Range
15 µm
15 µm
Multi-Sample
200 mm wafer sample chuck｜holds up to 16 coupon-sized samples
300 mm wafer sample chuck｜holds up to 16 coupon-sized samples
Auto Sample Setup
Yes
Yes
Auto Recipes
-
Yes
Rotation Stage
-
Yes
Chemical Identification Analysis
upgradeable
upgradeable

用途に合わせた設計

パークFX大型サンプルAFMは、ナノスケールから300mmウェハーまでの高精度測定を可能にし、研究および産業分野での理想的なソリューションとなっています。

Semiconductor

Patterned Si Device

The structure of the device is evaluated using the Non-contact Mode. The image shows the width and depth of the patterned Si device.

Patterned Si Device

Semiconductor

Cu Pad

Cu pad image provides high-resolution analysis of surface roughness and structural features.

Cu Pad

Polymer

Hyper-branched Polymer

3D macromolecules with numerous reactive chain-ends and low viscosity.

Hyper-branched Polymer

Polymer

Polystyrene Beads on Mica

203 nm-diameter nanospheres deposited on a mica substrate, capturing their topographical and morphological characteristics at the nanoscale.

Polystyrene Beads on Mica

2D materials

Moiré Superlattice in Twisted Bilayer Graphene on hBN

The two moiré patterns interfere, leading to a dual moiré superlattice.

Moiré Superlattice in Twisted Bilayer Graphene on hBN

Nanomechanical applications

Battery Film Diaphragm

PinPointᵀᴹ images provides quantitative modulus of battery film. Modulus: 2.2 GPa (peak to valley).

Battery Film Diaphragm

Nanoscale IR spectroscopy

PiFM Image on e-Beam Damaged ArF Photo Resist

Based on the PiFM spectrum, the wavelengths at 1730 cm⁻¹ (Left) and 1790 cm⁻¹ (Right) were strategically chosen for the PiFM analysis.

PiFM Image on e-Beam Damaged ArF Photo Resist

Nanoelectrical Applications

Perovskite

AFM current image confirm the conductivity of the perovskite material. Current image reveals spatial variations in electrical properties.

Perovskite
FX40 with monitor

FX200搭載機能を紐解く

自動化機能がAFMワークフローをどのように変えるのか

FX200は高度な自動化により表面分析を強化するための、最新大型サンプル原子間力顕微鏡（AFM）です。このテクニカルノートでは、FX200の主な特徴、自動化機能、改良されたサンプルナビゲーション、StepScan機能、環境管理システムについて詳しくご紹介します。

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