エリプソメーター

光学プロフィロメトリー

エリプソメトリーは、薄膜および表面の特性評価のための高感度な非接触光学測定技術です。反射光の偏光状態の変化を解析することにより、ナノメートルおよびサブナノメートルレベルまでの膜厚および光学定数を高精度に決定することができます。