Lyncée Reflection Series
時間分解型・高度トポグラフィソリューション
Lyncée Reflection シリーズは、デジタルホログラフィック顕微鏡法（Digital Holographic Microscopy, DHM）を基盤とした光干渉計です。測定はリアルタイムで、機械的スキャンを行わず単一取得で実行されます。
このほぼ瞬時の測定特性により、DHM は試料の 3D トポグラフィ測定だけでなく、外部刺激に対する試料の時間応答のモニタリング、製造工程における試料評価とプロセス最適化、大面積表面の評価と微小欠陥スクリーニング、高温・低温、液体中、真空中、ガス制御環境下でのin situ 測定にも対応します。
DHM は、半導体、MEMS、医療技術、時計産業、産業計測、ポリマー、マイクロ・ナノテクノロジー、マイクロオプティクス、フォトニクス分野の研究室および生産施設で使用されています。
このほぼ瞬時の測定特性により、DHM は試料の 3D トポグラフィ測定だけでなく、外部刺激に対する試料の時間応答のモニタリング、製造工程における試料評価とプロセス最適化、大面積表面の評価と微小欠陥スクリーニング、高温・低温、液体中、真空中、ガス制御環境下でのin situ 測定にも対応します。
DHM は、半導体、MEMS、医療技術、時計産業、産業計測、ポリマー、マイクロ・ナノテクノロジー、マイクロオプティクス、フォトニクス分野の研究室および生産施設で使用されています。
主な特長
高度な性能
- 干渉計レベルの分解能
- 高速取得とリアルタイムデータ表示
- デジタル再フォーカス：高速取得や難しい環境下でも高分解能イメージングを実現
あらゆる実験ニーズに対応
- 複数波長：拡張された垂直測定範囲
- ステージ：最大 300 mm 移動範囲および 6 軸制御
- 特定用途向けの幅広いオプション
- アップグレード可能な構成
高速・時間分解アプリケーション向けワークフロー
3D データ取得は単一画像取得で行われ、カメラ周波数で繰り返されます。視野内のすべてのピクセルが同時に取得され、横方向、垂直方向、位相の機械的スキャンを必要としません。これにより、動的試料の全視野高速取得が可能になります。
時間分解能を実質的に定義する取得時間は、カメラのシャッター開時間、またはパルス光源の場合はレーザーパルスの持続時間に相当します。標準システムでは通常数百マイクロ秒、高速カメラ使用時には数十マイクロ秒、MEMS 解析では5 ナノ秒まで短縮できます。
この高速取得能力は、試料変形の動的測定や大面積試料の評価に適しており、優れた繰り返し性と環境外乱に対する安定性を提供します。これは産業用途で特に有用です。
時間分解能を実質的に定義する取得時間は、カメラのシャッター開時間、またはパルス光源の場合はレーザーパルスの持続時間に相当します。標準システムでは通常数百マイクロ秒、高速カメラ使用時には数十マイクロ秒、MEMS 解析では5 ナノ秒まで短縮できます。
この高速取得能力は、試料変形の動的測定や大面積試料の評価に適しており、優れた繰り返し性と環境外乱に対する安定性を提供します。これは産業用途で特に有用です。
柔軟なアップグレードとオプション
Lyncée Reflection はモジュール性を考慮して設計されています。DHM ヘッドへの波長追加、対物レンズ、電動ステージ、
環境チャンバー、試料制御オプションなどを、アプリケーションや予算に合わせて随時アップグレードできます。
対物レンズセット
対物レンズターレットは、1.25× から 100× までの最大 6 本の対物レンズを
サポートし、広視野観察と高倍率検査を容易に切り替えることができます。
対物レンズの選択肢には、超長作動距離、超高 NA、ガラス補正、油浸、
水浸モデルが含まれます。
電動サンプルステージ
電動ステージは測定能力を高めるために利用できます。ジョイスティックによる手動制御が可能で、Koala ソフトウェアにより完全自動化できます。
多地点測定のための自動移動や、複数画像の自動取得・スティッチングによる測定視野拡大が可能です。100 mm から 300 mm の X/Y 移動範囲と、Z 方向（光軸、焦点）
38 mm の移動範囲を持つ線形ステージなど、用途と試料に合わせた多様な
ステージが用意されています。
6 軸制御
最大 6 軸制御のソリューションにより、球面・円筒試料や、
大きな角度で光を偏向するマイクロミラーのような構造を精密に測定できます。
回転ステージ
円筒、シャフト、金属ロール、ガラス管などの円筒部品全表面を測定するため、
Lyncée Reflection は電動回転ステージを提供します。これは電動または手動 XYZ
線形ステージと互換性があります。2 つの駆動ローラー間隔は、さまざまな直径の試料に合わせて調整できます。専用インターフェースにより、試料の対称軸方向への移動と回転を制御できます。
ストロボスコープユニット
MEMS 解析に特化したストロボスコープユニットは、Koala MEMS Analyzer Suite と連携し、MEMS の励振駆動信号とホログラム
取得を同期します。最大 25 MHz、200 MHz 帯域幅で、励振周期に
沿った MEMS の精密トポグラフィ測定を可能にします。
真空・熱チャンバー
Lyncée Reflection シリーズ独自の光学セットアップにより、光学窓越しの測定が可能です。窓の光学厚さは自動的に考
慮されるため、参照光に完全に校正されたガラス補償スライドを手動で追加する必要はありません。
さまざまなガス、温度、圧力条件で試料を測定するため、Lyncée Reflection シリーズ向けに最適化された 2 種類のオプション真空/熱チャンバーモジュールが用意されています。チャンバーには、指定ガスでパージするためのポートが装備されています。
さまざまなガス、温度、圧力条件で試料を測定するため、Lyncée Reflection シリーズ向けに最適化された 2 種類のオプション真空/熱チャンバーモジュールが用意されています。チャンバーには、指定ガスでパージするためのポートが装備されています。
古典的ホログラフィーの原理
DHM 技術
DHM は古典的ホログラフィーのデジタル拡張です。写真乾板ではなくデジタルカメラでホログラムを記録する特許技術です。
数値処理により従来の再照明プロセスを置き換え、撮像された試料によって生じる位相および強度変化をリアルタイムで取得します。
この情報を解釈することで試料トポグラフィを取得します。
ソフトウェア
