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電気特性計測モード

コンダクタンス、サンプル抵抗、その他の電気的および形状特性に関する正確な情報を必要とするユーザー向けに、パーク・システムズは様々な電気特性モードを備えています。

Heterodyne KPFM

Developed for High Resolution Electrical Solutions

ピンポイント™ ナノメカニカルモード

ピンポイント™コンダクティブAFMで、 電流の測定において最高の分解能および感度を実現

コンダクティブAFM

サンプル表面の局所電子構造を探る

I-V スペクトロスコピー

IVスペクトロスコピーでは、サンプルを測定した後、選択されたサンプル領域で測定されます。

静電気力顕微鏡（EFM）

静電気力による高解像度および高感度イメージング

ケルビンプローブフォース顕微鏡（KPFM）

表面電位の高解像度および高感度イメージング

圧電応答力顕微鏡（PFM）

強誘電性試料、または圧電性試料の極性などの電気的ドメイン構造を正確に測定します。

圧電応答スペクトロスコピー

チップと試料表面の間のDCバイアスに対する局所的な振幅・位相の応答を測定します。

走査型キャパシタンス顕微鏡（SCM）

電荷分布の高解像度および高感度イメージング

走査型拡がり抵抗顕微鏡（SSRM）

試料表面の局所電子構造を探る

走査型トンネリング顕微鏡（STM）

試料表面の局所電子構造を探る

フォトカレントマッピング（PCM）

感光性材料研究に革新を起こす