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    NX20 Lite
    AFM 技術情報
 

MultiSample™ スキャンで試料を簡単に測定

Park NX20 Lite MultiSample™ スキャンシステム

  • 1回で複数の試料を自動でイメージング
  • 最大16個までの試料を搭載できる特別設計の
    マルチサンプルチャック
  • 最大150 mm x 150 mmまで移動できる
    モーター駆動式XYサンプルステージ

MultiSample Scan™は、電動サンプルステージでの
ステップ&スキャンの自動化により、複数領域のイメージングを可能にします。

その仕組みは次の通りです。
1. ユーザーが定義した複数のスキャンポジションを登録
2. 最初のスキャン位置からイメージング開始
3. カンチレバーを持ち上げる
4. 電動ステージを次のユーザー定義座標に移動させる
5. アプローチ
6. スキャンを繰り返す

複数のスキャン位置の登録は、サンプルステージの座標を入力するか、二つの基準点による試料のデスキューで簡単に行うことができます。
この自動化機能により、スキャンプロセス中のユーザーによる操作は
不要になり、生産性を大幅に向上させることができます。

NX20 Lite afm sys
 

湾曲のないフラットな直交XYスキャン

クロストークを除去したスキャナ構造により、スキャン位置、スキャンレート、スキャンサイズに関わらず、フラットな直交XYスキャンを
可能にしました。 オプティカルフラットのような極めて平坦な試料や、様々なスキャンオフセットがある場合でも、
湾曲が生じない設計となっています。 非常に正確な高さ測定と精密なナノ計測で研究・エンジニアリングにおける難しい問題も解決できます。

XYとZの分離型スキャナ

Park AFMの最も大きな特徴のひとつはスキャナの構造にあります。
Park独自のフレクチャーベースによる独立したXYスキャナと、 NX AFM電子制御システムを搭載したZスキャナ設計により、ナノ分解能での
比類ないデータ精度を実現します。

 

業界をリードする低ノイズZ検出器

Park AFMは、業界で最高水準の低ノイズZ検出器を搭載しており、0.02nmのノイズを実現しています。 これにより、エッジのオーバーシュートの
ない、高精度なサンプルの形状測定を行うことができます。Park NXシリーズは時間を節約し、より良いデータを得ることに貢献します。

低ノイズZ検出器による正確なサンプル形状測定

  • トポグラフィーに低ノイズZ検出器信号を使用
  • NXコントローラーにより、広帯域での0.02nmの
    低ノイズZ検出器を実現
  • エッジのオーバーシュートの発生なし
  • キャリブレーション不要

Sample: 1.2 μm Nominal Step Height
(9 μm x 1 μm, 2048 pixels x 128 lines)

 

真のノンコンタクト™モード:チップおよびサンプルへのダメージレス計測による
測定精度の向上

真のノンコンタクト™モードは、スキャン中のチップとサンプルのダメージを防ぐことにより、高解像度で正確なデータを所得し続けることができるPark AFMシステム独自のスキャンモードです。

スキャン中にチップがサンプルに接触し続けるコンタクトモードや、周期的にチップがサンプルに接触するタッピングモードとは異なり、
ノンコンタクトモードはサンプルに接触することがありません。 このため、チップ先端の形状を維持したまま、最高分解能でのイメージングが可能です。また、チップとサンプルが接触しないため、柔らかいサンプルを傷つけずに測定することができます。

高速Zサーボによる正確なフィードバックで
真のノンコンタクト™モードAFMを実現

  • チップ摩耗の低減 → 持続的な高分解能スキャン
  • チップとサンプルのダメージレス → サンプルの変形を最小化
  • 幅広いサンプルと測定条件に対応可能

 

さらに、ノンコンタクトモードでは、チップの周囲で発生するチップとサンプルの相互作用を感知します。チップをサンプルに近づけた際に横方向に発生する力も検出するため、 サンプル表面に突如現れる壁への衝突を避けることができます。コンタクトモードやタッピングモードでは、チップの下方から発生する力しか検出できないため、このような衝突に弱いのが欠点です。


Technical deep trench