システム
仕様

電動XYステージ

200mm : 駆動 275 mm × 200 mm、分解能0.5μm

300mm : 駆動 400 mm × 300 mm、分解能 0.5 μm
< 再現性 < 1 μm

電動 Zステージ

Z 駆動距離 25mm
分解能 0.08 μm 、再現性 < 1 μm

スキャナ
性能

XYスキャナ レンジ

100 µm × 100 µm (Large mode)
50 µm × 50 µm (Medium mode)
10 µm × 10 µm (Small mode)
Single-module flexure XY scanner with closed-loop control

XY スキャナ分解能

0.15 nm (Large mode)

Z スキャナ レンジ

15 µm (Large mode)
2 µm (Small mode)

AFM とXY ステージ
制御エレクトロニクス

ADC

18 チャンネル
4 高速 ADCチャンネル (64 MSPS)
24ビット ADC( X、Y及び Zスキャナ ポジションセンサー)

振動、音響、
負荷振動ノイズ
及び ESD 性能

床振動ノイ

< 0.5 μm/s (10 Hz~ 200 Hz 、アクティブ防振台使用)

設備
条件

室温 (待機時)

10 °C ~ 40 °C 

室温 (稼働時)

18 °C ~ 24 °C

湿度

30% ~ 60% (結露が無い事)

床振動レベル

VC-D基準 (6 μm/sec)

音響ノイズ

65 dB以下