低ノイズ、高スループットの原子間力プロファイラー

Park NX-Waferは、半導体および関連ファブリケーション向けの業界をリードする自動AFM測定システムです。ウェハーファブの検査と解析、ベアウェハーと基板の自動欠陥検査、およびCMPプロファイル測定を可能にするPark NX-Waferは、サブオングストロームの高さ精度を持つ最高のナノスケール表面分解能を持ち、チップ先端にダメージを与えずにスキャンを重ねることができます。
Park NX-Waferは、自動チップ交換、ライブモニタリング、リファレンスマークなしのターゲットポジショニング、自動解析などの自動化システム機能を備えており、業界最高水準の半導体AFM装置として位置付けられています。

• より正確なCMPプロファイル測定を実現する低ノイズ原子間力顕微鏡
• サブオングストロームの表面粗さを高精度に測定し、チップ間のばらつきを最小限に抑制
• 欠陥イメージングと解析のための全自動AFMソリューション
• 自動チップ交換、ロボットウェハーハンドラーを搭載した全自動システム
• 300mmウェハーのスキャンに対応