自動欠陥レビューと表面粗さ測定に最適なAFM

ナノスケールの欠陥を特定する作業は、メディアやフラットなサブストレートを扱うエンジニアにとって非常に時間のかかるプロセスです。Park NX-HDMは、自動化された欠陥の識別、スキャン、分析により、欠陥レビュープロセスを大幅に高速化する原子間力顕微鏡検査システムです。Park NX-HDMは、様々な光学検査ツールと直接リンクするため、自動欠陥レビューの処理能力が大幅に向上します。さらに、Park NX-HDMは、何度スキャンを行っても、スキャンごとに正確なサブオングストロームの表面粗さ測定を実現します。業界最小のノイズフロアと独自の真のノンコンタクト™技術を持つPark NX-HDMは、とともに、市場で最も正確な表面粗さ測定用のAFMです。

ハイスループット、自動欠陥レビュー

ナノスケールの欠陥を特定する作業は、メディアやフラットなサブストレートを扱うエンジニアにとって非常に時間のかかるプロセスです。Park NX-HDMは、自動化された欠陥の識別、スキャン、分析により、欠陥レビュープロセスを大幅に高速化する原子間力顕微鏡検査システムです。Park NX-HDMは、様々な光学検査ツールと直接リンクするため、自動欠陥レビューの処理能力が大幅に向上します。

サブÅの表面粗さ測定

ますます縮小するデバイスの寸法に対応するために、業界では超フラットなメディアとサブストレートの需要が高まってきています。Park NX-HDMは、何度スキャンを行っても、スキャンごとに正確なサブオングストロームの表面粗さ測定を可能にします。業界最小のノイズフロアと独自の真のノンコンタクト™技術を持つPark NX-HDMは、とともに、市場で最も正確な表面粗さ測定用のAFMです。