ナノリソグラフィとナノマニピュレーションに利用できる 簡単操作オペレーティングソフトウェア
SmartScan™によって作動するPark SmartLitho™は、材料、電気および電子デバイス、ナノテクノロジー、その他の研究分野においてナノリソグラフィとナノマニピュレーションを行うためのAFMベースプラットフォームです。 Park SmartLitho™ソフトウェアには、様々なリソグラフィモードが搭載されており、ベクターモードとラスターモードの両方をサポートします。簡単なユーザインターフェイスを備えたPark SmartLitho™は、スタンドアロン型の便利な描画編集機能を提供するSmartScan™プラットフォーム上で操作できます。
