导电原子力显微镜在电子器件纳米级电学测试中的应用 – 2020年9月24日

导电原子力显微镜（C-AFM）是在扫描探针显微镜（SPM）基础上扩展的一种电学测试模式，它可以同时实现在纳米级对样品（比如：介质材料、量子点、电子器件）表面形貌和局部电学性质的表征和测试。C-AFM 技术在纳米电子学、半导体材料等领域广泛应用，主要用于表征样品/器件的缺陷分布、电导率局部变化、局部电学行为等。本报告将重点围绕C-AFM在忆阻型电子器件中的电学表征，介绍不同环境（大气和真空状态）下测试结果的可靠性，以及通过使用基于C-AFM技术的不同手段来直接观测导电细丝的形成以进一步探索阻变机理。