研究用AFMのパフォーマンス 大特集！- 2020年 8月 28日
SPEAKERS
  • 後藤 千絵
    パーク・システムズ・ジャパン株式会社技術部 分析チーム
Authors
後藤 千絵


生産ライン用全自動AFMで有名なパーク・システムズ社ですが、実は研究用のAFMでも高いパフォーマンスを発揮できることについて、まだ日本国内においては周知とは言えません。そこで今回は、弊社の研究用AFMの能力についてひも解き、説明させていただきます。

例えば基本の形状測定ですが、Z方向のスケールと分解能は最大30umから原子レベルまであり、測長の精度を考えると、どのような表面凹凸においてもX,Y,Zピエゾスキャナの較正値は、同時に正確でなくてはなりません。

具体的に言うと、角度測定と球体の測定は、3軸同時に、しかもZ軸はX,Y方向のスキャナと分離している必要があります。正確なクローズドループ制御でX,Y軸100um、Z軸標準15um(最大 30um)の動作領域を持つスキャナは、他に類をみません。

今回のウェビナーでは、製品の魅力をお届けしたいと思います。皆様のご参加を心よりお待ちしております。
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