Park FX300

Park FX300

300 mm晶圆兼容型原子力显微镜，满足科研实验、质量检测与可靠验证多场景应用需求

Park FX300 旨在打破科研与工业应用之间的界限，成为原子力显微镜领域具有划时代意义的产品。该系统支持多种 AFM 技术， 满足科研实验、质量检测与可靠验证多场景应用需求。此外，Park FX300 提供工业专用的研发功能，如大面积表面粗糙度轮廓分析、精确的晶圆级对准和定向控制、增强光学成像，以及确保超洁净测量环境的污染管理。这些功能使 Park FX300 成为半导体后端工艺、晶圆级封装及其他工业研发的核心解决方案。

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满足工业检测与科研分析复合需求

智能自动化

自动化技术让探针识别与更换、激光对准、参数调节变得高效便捷。FX300 配备16 个探针槽，支持重复测量和模式切换，减少停机时间，提高效率。

探针识别摄像头读取探针芯片载体上的二维码，自动显示探针的所有相关信息，包括类型、型号、应用和使用情况，帮助用户快速选择合适的探针，提高测量精度和效率。

自动化探针更换功能允许用户快速、安全地更换探针。配备16个探针槽，支持自动更换探针，减少人工操作，提高测量效率。

自动激光对准让激光束自动精准定位到悬臂的适当位置，并自动优化 PSPD 上的光斑位置, 包括垂直与横向调整。可自动调整 X、Y、Z 轴，确保清晰、无失真的成像，一键完成对准。

简化操作

自动化顺序测量

支持在大尺寸样品（如 300 mm 晶圆或多样品卡盘）上进行预设坐标测量，实现自动化测量。支持形貌测量及高级模式测量，大幅优化科研和工业应用的工作流程。

面向高端产品的下一代原子力显微镜控制器

Park FX控制器专为提Park F系列的性能而设计。该先进系统支持压电响应力显微镜（PFM）的高级应用，包括接触共振PFM（CR-PFM）和双频共振跟踪 PFM（DFRT-PFM），且无需额外硬件，确保用户充分利用高端原子力显微镜技术。

controller image
  • 无需外部放大器即可实现 DFRT-PFM
  • 增强安全性及实时环境监测
  • 直接支持 CR-PFM，并提高探针偏压调制带宽
  • 可快速提高数据和图像处理速度
FX40 with monitor

Park nano-IR 光谱分析

用于大尺寸样品化学分析的先进纳米红外光谱技术

Park nano-IR 是一款集成了红外（IR）光谱和原子力显微镜（AFM）的系统。光谱模组能够提供小于5 nm的空间分辨率进行化学分析。它采用非接触式技术，可提供安全的光谱扫描和业内优秀的空间分辨率。显微镜模组可提供纳米级三维形貌，具备亚埃级高度精度，并为用户提供机械特性等信息。