满足工业检测与科研分析复合需求
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面向科研与质量检测的300 mm晶圆专用原子力显微镜
能够测量大至 300 mm 的晶圆,适用于多种高级原子力显微镜应用,包括选配的nano-IR 应用。
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专业的工业研发应用
配备配方化常规测量、长程轮廓扫描与可旋转样品台的工业研发功能。
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增强光学样品成像
可选配高级离轴光学系统,提供更清晰的样品可视化。
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集成工业级设施
工业级一体化设计,配备设施控制器、带有紧急制动装置的信号指示塔,以及选配的风机过滤单元(FFU)污染控制解决方案。
