AFM 질의응답

기술지원 FAQ

[Scanner] Q: XY scanner가 비정상적으로 움직이거나 움직이지 않을 때 어떻게 해야 하나요?

1. 우선 AFM controller의 analog cable과 XY scanner cable이 확실히 연결되었는지 확인 합니다.

2. XEP의 Trace mode를 실행시켜 Servo Off, On 상태에서 XY sweep test를 하고 Sweep test시 Vision 창을 통해 XY scanner의 움직임을 관찰합니다. (Trouble shooting guide_ver1.1.1 참조)

3. Servo Off 상태에서 XY scanner의 움직임이 Vision 창에서 정상이고 Trace mode window 에서 Signal이 비정상이면(가운데를 중심으로 Signal이 출력되지 않고 한쪽으로 치우치면) Servo On일 때 Vision 창에서 비정상적인 움직임을 보이고 Trace mode window에서도 한쪽으로 치우쳐진 비정상 Signal이 나타난다. 이런 경우 대부분 XY scanner의 Hardware Offset이 틀어져 있어 발생한다. AS접수하여 Hardware Offset을 맞추는 서비스를 받는다.

4. Servo Off상태에서 XY scanner의 움직임이 Vision창에서 정상이고 Trace mode window에서 Signal이 정상인데 Servo On일 때는 비정상인 움직임과 Signal이면 Electronic의 Feedback loop에 문제가 발생한 것으로 Base board 또는 Interface board를 수리해야 한다.

5. Servo Off 상태에서 XY scanner의 움직임이 Vision 창에서 비정상이고 Trace mode window에서 Signal도 비정상이면 XY scanner에 문제가 발생했거나 Electronic에 문제가 발생한 것이다. 우선, XY scanner를 분리하고 AFM controller cover를 벗긴 후 Trace mode에서 문제의 방향으로 Driving 시킨 후 High voltage board Input power(163V), driving signal(Set signal: ±10V, HV output signal:-10V~140V)를 점검하여 정상여부를 판단하고 불량이면 해당 Part(High voltage board, Baseboard, Interface board, APS board 등)를 AS 접수하여 수리 받는다. AFM controller가 정상이면 분리해 놓은 XY scanner에서 움직이지 않는 방향 PZT의 Capacitance(1.5uF/ea) or resistor(MΩ)를 측정하여 정상여부를 판단하고 불량PZT일 경우 XY scanner를 AS 접수하여 수리 받는다. AFM controller와 PZT 모두 정상일 경우 XY scanner 분리 상태에서 Trace mode에서 문제의 방향으로 Driving 시킨 후 XY scanner cable connector의 Pin map(XE:1, 2,5,6번 , NX:21,22,23,24번 )에서 Driving signal을 측정하여 정상Signal이 나타나면 XY scanner board의 불량이며 불량Signal이 나타나면 Analog cable, XY scanner cable의 연결상태 불량이거나 Analog cable, XY scanner cable, Frame board 불량이다. 해당 불량 part를 수리 받는다. (Trouble shooting guide_ver1.1.1 참조)