파크시스템스㈜가 7월 3일 킨텍스에서 열린 ‘나노코리아 2019 어워드’에서 나노산업기술상 부문 최고상인 국무총리상을 수상했다.
'30nm 이하 나노소자 측정이 가능한 반도체 인라인용 3D 원자현미경’ 연구를 통해
나노코리아 어워드 나노산업기술부문 국무총리상을 수상한 파크시스템스 조상준 상무 인터뷰 영상
파크시스템스㈜는 지난 수년간 핵심과제로 진행해 온 ‘30nm 이하 나노소자 측정이 가능한 반도체 인라인용 3D 원자현미경’ 연구를 통해 반도체 제조공정에 적합한 나노계측시스템 개발에 성공했다. 더불어 국책과제 수행과 연구개발을 통한 고용확대 및 수출증대로 국가경제발전에 기여한 공로를 인정받아 이번 상을 수상하게 됐다.
파크시스템스㈜는 이번 수상을 계기로 최첨단 산업에 필요한 원자현미경 기술 개발을 통해 국가경쟁력 제고 및 글로벌 시장 점유율을 확대해 갈 것이다.