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  • Park
    NX-TSH
    AFM 仕様
 

Park NX-TSH 仕様

*この仕様はカスタマイズできます。詳しくはお問い合わせください。



システム
仕様

サンプルサイズ*

520 mm x 520 mm x 12 mm, 10 kg

電動Xステージ*

625 mmまで移動、分解能±3 ㎛

電動Yステージ*

525 mmまで移動、分解能±3 ㎛

電動Zステージ*

Z移動距離25 mm、分解能0.08 ㎛、再現性 < 1 ㎛

電動フォーカスステージ*

Z移動距離9 mm、直上光学系

COGNEXパターン認識

パターンアライン分解能1/4ピクセル

 

スキャナー
性能

XYレンジ

100 ㎛ x 100 ㎛


XY分解能

0.15 nm

Zレンジ

15 ㎛

Z分解能

0.016 nm

 

AFMおよび
XYステージ制御
エレクトロニクス

ADC

18チャンネル
高速ADC 4チャンネル
X、YおよびZスキャナー位置センサー用24ビットADC

 

DAC

17チャンネル
高速DAC 2チャンネル
X、YおよびZスキャナー位置決め用20ビットDAC

 

コンプライアンス

CE

SEMI Standard S2/S8

 

振動・音響ノイズ・ESD性能

床振動

< 0.5 µm/s(アクティブ防振システム使用時、10Hz〜200Hz )

アコースティックノイズ

アコースティックエンクロージャーによる>20 dB 減衰

 

設備条件

室温(待機時)

10 °C ~ 40 °C 


室温(稼働時)

18 °C ~ 24 °C


湿度

30% ~ 60%(結露がないこと)


床振動レベル

VC-E基準(3μm/sec)


音響ノイズ

65dB 以下

排気系

真空:-80kPa
CDA (または N2): 0.7 MPa


電源

208V - 240 V, 単相、15A(最大)


総合消費電力

問い合わせ


グラウンド抵抗

100オーム以下

 

オプション

自動チップ交換(ATX)

自動チップ交換は、自動測定ルーチンをシームレスに継続するために、完全に自動化されたチップ交換を実行します。カンチレバーの位置を自動的にキャリブレーションし、レファレンスパターンの測定に基づいてパラメータ設定を最適化します。弊社の新しい磁気力による方法は、従来の真空による方法よりも高い99%の成功率を実現します。

 

イオナイザーシステム

イオナイザーは効果的に静電気を取り除きます。常に正と負のイオンの理想的なバランスを維持するため、帯電したものをイオン化し、周囲の領域を汚染することはありません。また、サンプルの取り扱い中に発生しうる偶発的な静電気のビルトインチャージも低減させます。

 

寸法・重量

NX-TSH

2334 mm(w) × 1450 mm(d) x 2450 mm(h), 約2720 kg(コントロールキャビネットを含む)
天井高:2500 mm以上
オペレーター作業スペース:3700mm(w)×3000mm(d)、最小値

 

 

Park NX-TSH - Specifications | Park Atomic Force Microscope