OLED、LCD、および２Dエンコーダーサンプル用
完全に自動化されたチップスキャンヘッド
次世代フラットパネルディスプレイ製造企業向けに特別に開発
パーク・システムズは、大型サンプルの自動測定向けにチップスキャンヘッドであるPark NX-TSH（Tip Scanning Head）を開発しました。Gen8+およびすべての大型フラットパネルディスプレイ用のAFMツールとしてさらなる進化を遂げます。これは、300 mmサイズの限界値超えを克服することを目的とした製造企業向けに特別に開発されました。
シリコンウェーハ直径での変化
Park NX-TSHは、コンダクティブAFM（C-AFM）を使用して、サンプルの表面に接触するウェーハレベルの小さなデバイス、またはチップに電流を供給するオプションのプローブステーションでサンプル表面を測定できます。Park NX-TSHは、マイクロプローブステーションを統合することで電気特性計測を行う2Dエンコーダーサンプル用装置です。
Park NX-TSHの機能
サンプルのサイズと重量制限の課題を解決
パーク・システムズが新たに開発したチップスキャンヘッドは、X/Y、Zスキャナーを組み合わせて、目的のポイントまで直接移動します。Park NX-TSHは、チップ自体をX/Y方向で最大100 μm x 100 μm、Z方向で15 μmスキャンでき、柔軟なサンプルチャックとガントリーに取り付けられたチップスキャンヘッドが測定位置に移動します。Park NX-TSHチップスキャニングヘッドシステムは、サンプルがサンプルチャックに固定されているため、サンプルのサイズと重量の制限に打ち勝つことができます。
100 µm x 100 µmフレキクチャーガイド式クローズドループ制御搭載型XYスキャナ
XYスキャナは、対称的な2次元フレクチャー式ピエゾスタックで構成されており、面外運動を最小限に抑えながら高度に直交する動きを実現し、ナノメートルスケールでの正確なサンプルスキャンに不可欠な高い応答性も実現します。
低ノイズ位置センサー付き15 µm 高速Zスキャナ
Park NX-TSHは、一般的に使用される本来非線形のZ電圧信号の代わりに、超低ノイズZ検出器を利用することにより、トポグラフィー高さ測定においてかつてない精度を実現できます。業界をリードする低ノイズＺ検出器は、印加されたＺ電圧をトポグラフィー信号として置き換えます。
300 mmを超えるサンプルのAFM分析用長広範囲エアベアリングXYステージ
Park NX-TSHは、チップスキャニングヘッドとガントリー型エアベアリングステージおよび高解像度の出力により、大型で重いサンプルのナノ計測の課題を解決します。エアベアリングステージテクノロジーは、より高速なアクセスと完全に自動化されたシステムを提供し、生産性向上に貢献します。
自動測定制御による労力削減と正確なスキャン
Park NX-TSHには自動化ソフトウェアが搭載されており、操作は非常に簡単です。必要な測定プログラムを選択するだけで、カンチレバー調整、スキャン速度、ゲイン、パラメーター設定と、各設定の最適化により、正確なマルチ分析を行うことができます。
パーク・システムズの使いやすいソフトウェアインターフェイスにより、カスタマイズされた操作ルーチンを柔軟に作成できるため、Park NX-TSHのすべての機能にアクセスして、必要な測定を行うことができます。
新しいルーチンの作成は簡単です。ゼロから作成するのに10分、既存のものを変更するのに5分もかかりません。
Park NX-TSHの自動測定システムの機能：
• オート、セミオート、マニュアルモードで完全制御
• 各自動化ルーチンの編集可能な測定方法
• 測定プロセスのライブモニタリング
• 取得した測定データの自動分析