Park NX-HDM 仕様
システム
仕様
電動XYステージ
駆動範囲: 最大150 mm × 150 mm、再現性 2 μm
電動 Zステージ
Z 駆動範囲 25 mm
分解能 0.1 μm 、再現性 < 1 μm
スキャナー
性能
XY スキャナ レンジ
100 µm × 100 µm
XY スキャナ分解能
0.095 nm (20ビット位置制御)
AFM とXYステージ
制御エレクトロニクス
ADC
18 チャンネル
4 高速 ADCチャンネル (64 MSPS)
24ビット ADC( X、Y及び Zスキャナ ポジションセンサー)
DAC
17 チャンネル
2 高速 DAC チャンネル (64 MSPS)
20ビット DAC ( X、Y及び Zスキャナ ポジションセンサ)
振動、音響ノイズ、
及びESD性能
床振動ノイ
< 0.5 μm/s (10 Hz ~ 200 Hz w/ アクティブ防振台システム)
設備
条件
室温 (待機温度)
10 °C ~ 40 °C
室温 (稼働中)
18 °C ~ 24 °C
湿度
30% to 60% (not condensing)
寸法 (mm)
重量 (kg)
アクースティック エンクロージャー
880 (w) × 980 (d) × 1460 (h)
620 kg approx. (incl. basic NX-HDM System)
制御キャビネット
600 (w) × 900 (d) × 1600 (h)
170 kg approx. (incl. controllers)
電動フォーカス ステージ
直上光学、Z 駆動範囲15mm
試料の厚さ許容範囲
最大 20 mm
全Zスキャンレンジ
Z クリアランス< 2 nm
COGNEX パターン認識
パターン アライメント分解能: 1/4 ピクセル
Z スキャナレンジ
15 µm
Z スキャナ分解能
0.01 nm
最大スキャンサイズ
4096 x 4096 ピクセル
音響ノイズ
>20 dB 低減(アクースティックエンクロージャーにより)
床振動レベル
VC-D 基準 (6 μm/sec)
音響ノイズ
65 dB以下
排気系
真空 : -60 kPa
電源
100/120 V/ 208~240 V、単相, 15 A (最大)
総合消費電力
2 KW (公称値)
グラウド抵抗値
100 オーム以下
システム フロア スペース
1720 (幅) × 920 (奥行)
天上高
2000 以上
オペレータ作業スペース
2400 (幅) × 2450 (奥行), 最小 (寸法単位: mm)
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