Park AFM イメージングモード

サンプルの表面形状を維持しながら、繰り返し高解像度で正確なデータを出力

真のノンコンタクト™モードでは、探針先端の鋭さとサンプル表面を維持しながら、より正確な結果を得ることができます。このモードでは、圧電素子がカンチレバーを小さい振幅で振動させ、カンチレバーの共振周波数に近い固定周波数を振動させます。探針をサンプルに近づけると、探針とサンプル間のファンデルワールス力により、カンチレバーの振動の振幅と位相が変動します。これらの変化は、Park AFMの特許取得済みであるZサーボフィードバックシステムによってモニタリングされ、サンプル表面や先端にダメージを与えることなく、先端と表面の距離を数ナノメートルに維持します。

表面をイメージングするのに最も簡単な方法

コンタクトモードは、サンプルの表面形状を取得する最もシンプルで簡単な方法です。試料表面でのカンチレバーの歪みを一定に維持するZスキャナの位置から形状信号が送られる仕組みです。

[最初のトポグラフィー]  /   [３０分後のトポグラフィー]

ノンコンタクトモードの代替となるタッピングモードでは、カンチレバーが振動するものの、振幅ははるかに大きくなります。振動が大きいほど制御回路に十分大きい偏向信号を出すため、表面形状フィードバックの制御が容易になります。適度なAFM結果が得られますが、チップ先端の鋭さが速い速度で鈍くなり、最終的にはイメージング解像度も低下させます。

[トポグラフィー]   /   [位相]
同時に収集したクリスタルファセットの位相イメージング