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  • Park
    NX20
    AFM Specifications

Park NX20技术参数

XY扫描器

闭环控制XY平板扫描器
扫描范围 : 100μm x 100μm
               50μm x 50μm
20位位置控制和24位位置传感器

 

运动位移平台

XY行程范围 : 150 mm (200 mm选配)
Z行程范围 : 25 mm
对焦行程范围: 8 mm

Z扫描器

导向强力Z扫描器
扫描范围 : 15 µm
               30 µm
20位位置控制和24位位置传感器

 

样品基座

样品最大尺寸:150 mm (200 mm选配)
真空样品吸附

 

视场

光学物镜

10× (0.21 NA) 超长工作距离镜头的物镜
20× (0.42 NA)高分辨率,长工作距离镜头的物镜
同轴光源设计
10倍光学物镜和数码放大
光学物镜视场 : 840 × 630 µm (420 × 315 µm选配)
CCD : 5M pixel

 

软件

SmartScan™

Dedicated system control and data acquisition software
Adjusting feedback parameters in real time
Script-level control through external programs(optional)

XEI

AFM data analysis software

 

Electronics

Signal processing

ADC : 18 channels
4 high-speed ADC channels
24-bit ADCs for X, Y, and Z scanner position sensor
DAC : 12通道
2 high-speed DAC channels
20-bit DAC的X, Y和Z扫描器定位
最大数据量 : 4096 x 4096像素

Integrated functions

3 channels of flexible digital lock-in amplifier
Digital Q control

外部信号访问

20 embedded signal input/output ports
5个TTL

输出 : EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias

 

AFM模式
(*Optionally available)

成像模式

真正非接触模式
PinPoint™ AFM
接触模式
侧向摩擦力显微术 (LFM)
相位成像
轻敲模式

电学特性*

扫描电容显微镜 (SCM)
导电原子力显微镜
静电力显微镜 (EFM)
压电力显微镜 (PFM)
扫描开尔文探针显微镜(SKPM)

一般特性*

磁力显微镜(MFM)
扫描热感显微镜(SThM)
力.距离曲线
扫描隧道显微镜(STM)
力调制显微镜(FMM)
纳米压痕
纳米刻蚀
纳米操纵

 

NX20原子力显微镜模式

Customize your AFM to handle any project

自动收集分析数据,大大节省时间

option-automatic-data

Park的自动化控制软件,可根据您的预设程序自动进行AFM测量。它可以准确地手机数据,执行模式识别,并使用它的寻边器和光学模块进行分析,不需要人工介入,从而为您节省大量宝贵时间。

倾斜样品倾角夹具,可帮助您进行样品侧壁成像。

option-sidewall

Park NX20的创新构架让大家可以放心检测样品的侧壁和表面,并可测量它们的角度,这给了研究者更多的灵活性,从而使研究者在创新研究中得到更深的见解。            

温度稳定的隔音罩

创新的控制设计使Park NX20能够快速达到温度平衡
关闭隔音罩后10分钟内可保持测试环境低于0.05 °C 的温差
NX20具有主动隔振功能

集成编码器的自动载台

XY马达运动工作时分辨率为1 µm,重复率为2 µm。
Z马达运动的分辨率为0.1 µm,分辨率为1 µm。

样品盘

专用芯片样品台
真空吸附盘
最大200 mm晶圆盘

探针夹具

固定扫描探针
T进行导电测试
针尖电压 : -10 V ~ +10 V

精确的温度控制

加热和冷却阶段 (-25ºC ~180 °C)
250 °C 加热台
600 °C加热台

 

Dimensions in mm

demensions
 

Park NX20 - Specifications | Park Atomic Force Microscope