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导电原子力显微镜(C-AFM)在二维材料及纳米电子器件中的应用

2019年10月31日*星期四
北京时间东八区上午15:00-16:00

导电原子力显微镜(C-AFM)是一种非常有用的扫描探针显微镜(SPA)纳米表征技术,它不仅可以对样品的形貌进行表征,更重要的是可以探测许多介质材料和电子器件的局部电学性质。C-AFM技术已经成功表征了介质薄膜的许多重要的纳米级现象,比如:局部缺陷、电荷捕获和释放、应力诱导漏电流、负偏置温度不稳定性等。

目前,随着电子器件尺寸和介电材料厚度的不断缩减,纳米级电学性质表征技术手段的应用和发展变得日益重要。本讲座首先简要介绍C-AFM技术的发展历程、工作原理、工作特点及方式;其次重点介绍C-AFM技术在二维材料和忆阻器中的电学表征应用。  具体内容是利用C-AFM技术:1.研究化学气相沉积法制备的六方氮化硼(h-BN)的电学性质:介质击穿特性和厚度及电学性质均一性;2.在不同环境(大气和真空)下探测h-BN基忆阻器的阻变特性及导电细丝的形态表征;3.通过与其它电学设备相结合,实现更高性能的技术表征。最后,探讨未来多探针SPA技术的发展概念,有望实现在真空环境下对材料或器件的原位制备和表征

主讲人

惠飞博士
现以色列理工学院博士后,2018年7月获得巴塞罗那大学和苏州大学双博士学位。在攻读博士期间,她曾先后到世界顶级名校美国麻省理工学院和英国剑桥大学进行为期12个月和6个月的访学。在科研方面,5年时间内,她共参与发表SCI期刊学术论文38篇,其中,一作论文11篇,包括顶级期刊Nature Electronics, AdvancedFunctional Materials, ACS Applied Materials & Interfaces, 2D Materials, Nanoscale等。另外,她还参与德国Wiley出版的专著篇章一部,获批国家发明专利一项,申请国际专利两项,参与申请国际间/国家自然科学基金项目等8项。曾获得2019 ParkAFM博后奖学金、英国皇家化学会学者奖学金等。她的主要研究领域是化学气相沉积法制备二维材料及其在电子器件领域内的应用。

Park Lectures - Biological Science | Park Atomic Force Microscope