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Park Systems的300 mm晶体测量全自动化装备 'Park NX-Wafer'

 

 

2018年9月5日到7日,2018年中国半导体展将在中国台湾台北南港展览馆举行。作为原子力显微镜制造商的领头羊,帕克公司大中华区的总经理张家荣(Mark Chang)将代表帕克公司出席本次展会,旨在为国际市场上半导体检测工艺方面提供“更准”“更高效”的解决方案。

该解决方案不仅升级了科研界中原子力显微镜用来观察纳米等极微小事物的传统观念,还创新了原子力显微镜具有计量(metrology)的概念。帕克公司采用AR产品中先进的超平玻璃为技术支撑,进行显微镜镜头的测量。而AR中这一增强现实的过硬技术也不负众望地保证了半导体检测的准确度。多产业创新技术的融合是帕克公司半导体工艺检测技术逐渐由“看得清”向“看得准”过渡的桥梁,这也体现了帕克公司 “自主研发,开拓创新”的技术原则和“与时俱进,敢为人先”的企业理念。

十九大以来,中国国务院关于加快培育和发展战略性新兴产业的决定,为半导体产业发展带来十足的机遇和动力。在目前的AFM市场里面,帕克公司(Park Systems)在国内外获得的原子力显微镜专利已经足足有32项!作为唯一一家能提供给客户最准且最低噪声3D metrology解决方案的帕克公司已经活跃于中国市场。日前帕克公司的原子显微镜3D量测技术,已经得到中国政府的支持。帕克公司已和中国政府重点投资在武汉地区的集成电路项目形成了互帮互助的合作伙伴关系。随着新兴工业的发展,原子力显微镜迎来市场工艺检测需求的极大挑战。传统的检测技术已不能满足需求,在业界原子力显微镜3D量测技术已经成为满足现代工业量测需求的“新宠”。帕克公司(Park Systems)则一直秉承着“更准”“更高效”的理念,以超过20年的企业专注力率先提出“不仅看得清还要看得准”检测概念满足了客户日益增长的需要,立足于业界领先地位。

市场推动产业发展,应用引领技术创新。原子力显微镜可运用的领域日趋广泛。实现纳米尺度定量物性测量,不仅可探测癌细胞、干细胞、聚合物、石墨烯等,还可应用于电池、材料、化学、IT、半导体等领域。帕克公司(Park Systems)的CEO朴尚一强调:“帕克公司会继续扩大投资和参展选项,全自动化半导体显微镜也在研发中,争取为半导体检测工艺寻求更精准、更合适的解决方案,为新兴工业共创一片蓝天。”

Park News - Press Release | Park Atomic Force Microscope

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