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  • Park
    NX10
    AFM Technology
 

Accurate AFM Solutions for General Research

Tall Sample 1.5 µm step height

tallsample-step-height
  • 扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌

Flat Sample Atomic steps of sapphire wafer

flatsample-Atomic-step-of-sapphire-wafer
  • 台阶高度0.3 nm,扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌
 

Hard Sample Tungsten film

hardsample-tungsten-film
  • 扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌

Soft Sample Collagen fibril

softsample-collagen-fibril
  • 扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌
 

Accurate AFM Measurement with Low Noise Z Detector

Park NX10原子力显微镜的低噪声Z探测器

  • NX平台的核心先进技术
  • 业界无可比拟的超低噪声
  • 默认的形貌信号
Z轴探测器是全新NX系列原子力显微镜的核心技术之一。它是Park独创的新型应变传感器。凭借着0.2埃的超低噪声一跃成为行业内噪声最低的Z轴探测器。超低噪声让Z轴探测器可作为默认的形貌信号,全新的NX系列原子力显微镜与前几代的原子力显微镜的差异可轻易被观察到。如果Z轴探测器的噪声过高,用户是无法观察到蓝宝石晶片的原子台阶的。Park NX系列原子力显微镜的Z轴探测器所发出的高度信号,其噪声水平与Z轴电压形貌相同。
 

Park NX Series

Z-detector-img-nxPark NX Z轴探测器的噪声水平
Z-detector-img-nx2NX10所探测的蓝宝石晶片形貌
 

Park XE Series

aZ-detector-img-xePark XE Z轴探测器的噪声水平
aZ-detector-img-xe2XE-100所探测的蓝宝石晶片形貌a
 

Accurate AFM Scan by True Non-Contact™ Mode

True Non-Contact™ Mode

park-afm-true_non_contact_mode
  • 针尖磨损更低=高分率扫描更长久
  • 无损式探针-样品接触=样品受损最小化
  • 可满足各种条件下对各种样品进行非接触式扫描
non-contact-mode

Tapping Imaging

park-afm-tapping-mode
  • 针尖磨损更快=模糊,低分辨率扫描
  • 破坏性的探针-样品接触=样品易受损
  • 参数高依赖性
tapping-imaging
 

The Best User Convenience by Design

简单的探针和样品更换

easy-tip

独有的设计能让您轻易地用手从侧面更换新的探针和样品。借助安装悬臂式探针夹头中预先对齐的悬臂,无需再进行繁杂的激光校准工作。


闪电般快速的自动近针

tip-approach

自动的探针样品进针功能能让用户无需进行干预操作。通过监测悬臂接近表面的反应,Park NX10能够在悬臂装载后十秒内开始并自动快速完成探针样品进针操作。高速Z轴扫描器的快速信息反馈和NX电子控制器的低噪声信号处理使得无需用户干预就能快速接触样品表面。


快速精准的SLD光校准

 



凭借我们先进的预校准悬臂架,悬臂在装载时SLD光便已聚焦完毕。此外,作为行内唯一一家可以提供自上而下的同轴视角可以让您轻松找到光点。由于SLD光垂直照在悬臂上,您可通过旋转两个定位按钮直观地在X轴Y轴移动光点。这样您可以在激光准直页面中轻易找到SLD光并将其定位在PSPD上。此时您只需要稍微调整到最大化信号,便可开始获取数据。 laser-alignment

 
 

Park NX10 features

扫描范围为50 µm x 50 µm 的2D扫描器

2D-Flexure-Guided-ScannerXY轴扫描器有对称的二维高强度压电叠堆。它可为进行精确的纳米级样品扫描,提供基本的面外高效正交运动和高响应能力。Park NX10的这种紧密刚硬的构造具备低噪声高速的伺服响应能力。

低噪声XYZ位置传感器
position-sensors

行业领先的低噪声Z轴探测器代替Z电压作为形貌信号。低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。

自动步进扫描

借助驱动样品台,步进扫描可编程多区域成像,以下是它的工作流程:

Step-and-Scan

1) 扫描成像
2) 抬起悬臂
3) 移动驱动平台到设定位置
4) 进针
5) 重复扫描

该自动化功能可大大减少扫描过程中手动需求,从而很大程度上提高生产力。

滑动嵌入SLD镜头的自主固定方式
SLD-head

您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜镜头。该设计可将镜头自动锁定至预对准的位置,同时与复位精度为几微米的电路系统相连接。借助于相关性低的SLD,显微镜可精确成像并可准确测定力-距离曲线。

高级扫描探针显微镜模式和选项的扩展槽
expansion-slot

只需将可选模块插入扩展槽便可激活高级扫描探针显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块设计,其生产线设备兼容性得到大大提高。

高速24位数字控制器
digital-electronics

所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理。 该控制器是个全数字,24位高速控制器,可确保True Non-Contact™模式下的成像精度和速度。凭借着低噪声设计和高速处理单元,该控制器也是纳米成像和精确电压电流测量的绝佳选择。嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能,更好的解决方案,是高级研究员的最佳选择。

XY和Z轴检测器的24位信号分辨率
•XY轴(50 μm)的分辨率为0.003nm
•Z轴(15 μm )的分辨率为0.001 μm

嵌入式数字信号处理功能
•三通道数码锁相放大器
•弹簧系数校准(热方法)
•数据Q控制

集成式信号端口
•专用可编程信号输入/输出端口
•7个输入端口和3个输出端口

高速Z轴扫描器,扫描范围达15 µm
z-scanner

借助高强度压电叠堆和挠性设计,标准Z轴扫描器的共振频率高达9kHz(一般为10.5kHz)且探针的Z轴速率不低于48mm/秒。 Z轴最大扫描范围可从标准的15 µm扩展至30 µm(可另选Z扫描头)。

驱动XY轴样品台
encoders

XY轴样品台是驱动化的,以便于将样品导航并定位到扫描区域。这种驱动台在这两个轴上的分辨率同为0.6um(使用微步)。

操作方便的样品台
Sample-holder

Park NX10的独特头部设计可使用户从侧面操作样品和探针,用户在样品台上可放置的最大样品体积为50mm× 50mm×20mm(长×宽×高)。

结合了集成LED照明的同轴高倍显微镜
optics

超长工作距离的定制物镜(工作距离50mm, 数值孔径0.21,分辨率1.0 μm )带来前所未有的镜头清晰度。直视同轴设计使得用户可轻易在样品表面寻找目标区域。EL20x的长行程物镜的大尺寸CCD可为您在高视角前提下提供0.7 μm的高分辨率。

垂直调节驱动的Z平台和聚焦平台
focus-stage

驱动Z平台和驱动聚焦平台可使悬臂检测样品表面并为用户持续提供清晰的图像。用户通过软件界面进行操控,由高精度步进电机带动,即使是透明样品或液池应用中都可简单操作。

 

Park NX10 - Technical Info | Park Atomic Force Microscope